極紫外（EUV）球面反射鏡

產(chǎn)品型號：
更新時間：2023-12-20
產(chǎn)品介紹：極紫外（EUV）球面反射鏡具有多層鉬/硅鍍膜，在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它們專為 5o 入射角設(shè)計，并用于聚焦非偏振 EUV 激光源。表面粗糙度小于 3? RMS，可大程度地降低散射。這對 EUV 波長*，因為 EUV 波長的散射比長波長更多. EUV 球面反射鏡的通帶非常窄，約為 0.5nm，確保只會在高諧波生成（HHG）應(yīng)用中反射 13.5nm 的關(guān)注諧波。
廠商性質(zhì)：代理商
在線留言

產(chǎn)品介紹

價格區(qū)間	面議	組件類別	光學(xué)元件
應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,航空航天,綜合

極紫外（EUV）球面反射鏡

超拋光基片上的鉬/硅多層鍍膜

13.5nm 下可實現(xiàn)的大反射

設(shè)計用于 EUV 光束聚焦應(yīng)用

適用于 HHG 應(yīng)用的窄通帶

極紫外（EUV）球面反射鏡 具有多層鉬/硅鍍膜，在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它們專為 5o 入射角設(shè)計，并用于聚焦非偏振 EUV 激光源。表面粗糙度小于 3? RMS，可大程度地降低散射。這對 EUV 波長*，因為 EUV 波長的散射比長波長更多. EUV 球面反射鏡的通帶非常窄，約為 0.5nm，確保只會在高諧波生成 (HHG) 應(yīng)用中反射 13.5nm 的關(guān)注諧波。EUV 球面反射鏡的典型應(yīng)用包括相干衍射成像 (CDI)、EUV 成像和 EUV 納米加工.

注意:
每個反射鏡均附運行樣本的測試數(shù)據(jù).

極紫外（EUV）球面反射鏡產(chǎn)品信息

DWL (nm)	Dia. (mm)	EFL (mm)	涂層	涂層規(guī)格	產(chǎn)品編碼
13.5	25.40	250.00	Mo/Si Multilayer Layer: Silicon	R_abs>60% @ 13.5nm	#11-730

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補充說明：
驗證碼：

請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

下一篇：加固型藍(lán)色系列 M12成像鏡頭

極紫外 （EUV） 球面反射鏡

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補充說明：

驗證碼：

極紫外（EUV）球面反射鏡